Testsysteme für Hochleistungshalbleiter

Hitachi Energy bietet Testsysteme für verschiedene Umgebungen wie Forschung und Entwicklung, Labor, Produktion oder Fehleranalyse. Höchste Qualitätssicherung, sichere Handhabung sowie Fern- oder Vor-Ort-Service sind garantiert.

Hochleistungs-Halbleitertestsysteme

Hitachi Energy bietet statische und dynamische Produktionstestsysteme für die meisten Leistungshalbleiter-Typen an. Sie  könnendiese, Substrate, Submodule, Module, Wafer und Presspack-Geräte handhaben. Auch Zuverlässigkeitsprüfsysteme für Hochtemperatur-Sperrspannung, intermittierende Betriebsdauer oder Stoßstromtests sind verfügbar. Zu den zusätzlichen Testerteilen gehören Klemm-, Kondensatorentladungs-, Vorheizungs-, Datenerfassungs- und Parameterextraktionseinheiten sowie  programmierbareIGBT-  und  Thyristor- Gate-Einheiten.

Parameter

Die Testsysteme von Hitachi Energy decken einen Bereich von bis zu 14 kV und 10 kA ab und verwenden eine einstellbare geringe Streuinduktivität. Während der Prüfung kann das zu prüfende Klemmgerät (DUT) für Produktionsanlagen auf 185 °C genau erwärmt oder in einer Klimakammer für Technikanlagen auf -40 °C abgekühlt werden. Die Spanneinheiten können Vorrichtungen mit einem Durchmesser von bis zu 240 mm handhaben und eine Spannkraft von bis zu 240 kN aufbringen.

Automatisierung

Unsere Prüfsysteme sind so konzipiert, dass sie sich leicht in automatisierte Handhabungsgeräte integrieren lassen. Die Prüfsystem-Software ist kompatibel mit kommerziellen Steuerungssystemen wie Manufacturing Execution System (MES) und Computer-Aided Quality Assurance (CAQ).